產(chǎn)品特性

采用白光共聚焦色差技術(shù)，可獲得納米級(jí)的分辨率

測量具有非破壞性，測量速度快，精.確度高

測量范圍廣，可測透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…)；

尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面

不受樣品反射率的影響

不受環(huán)境光的影響

測量簡單，樣品無需特殊處理

Z方向,測量范圍大：為27mm

主要技術(shù)參數(shù)

掃描范圍：400mm×600mm(*大可選600mm*600mm)

掃描步長：5nm

掃描速度：1m/s

Z方向測量范圍：27mm

方向測量分辨率：2nm

產(chǎn)品應(yīng)用

MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料，光學(xué)元件、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā)

主要用于

--生產(chǎn)現(xiàn)場三維形貌測試的理想選擇 

--高速三維表面形貌檢測